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반도체 박막 정밀계측 장비 개발 헬리오스, 프리시드 투자 유치_蜘蛛资讯网

)을 진행 중이다. 중소벤처기업부 디딤돌 첫 연구개발(R&D) 과제도 수주했다.유석재 헬리오스 대표는 “박막 두께 계측 기술은 50년 전 정립된 기술이 큰 틀의 변화 없이 사용되고 있어 미세화된 반도체 공정과의 간극이 크다”며 “마이크로 엘립소메트리라는 새로운 기술로 글로벌 기업과 경쟁할 수 있는 명실상부한 한국 대표 계측장비 기업으로 성장하겠다”고 밝혔다

跃用户，每日交易量达340万笔。责任编辑：张俊 SF065

이크로 엘립소메트리(Micro Ellipsometry)’는 파장과 각도를 동시에 활용한다. 하나의 대물렌즈로 다양한 각도와 파장의 빛을 한 번에 분석해, 사전 정보 없이도 정밀한 자동 계측이 가능하다.현재 글로벌 반도체 박막 계측장비 시장은 미국 기업이 사실상 독점하고 있다. 헬리오스는 첫 적용 분야로 3D 낸드플래시 박막 계측을 목표로 하고 있으며, 국내

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